真空固化炉是一种用于半导体晶圆制造过程中对聚酰亚胺（PSPI)这一种新型工程高分子材料固化的专用设备，烘箱温度最高可达450°c 固化炉的工作原理和操作流程：
1、固化炉工作原理
以翅片式散热器和不锈钢加热管为热源，利用风机对加热总成对流换气的方式加热空气，通过热空气与物料的热量传递，空气通过进风口不断补充，湿空气排出箱外，使炉内的温度不断提高，模具逐渐预热。 操作程序。
2、固化炉开机前准备
①岗位操作人员开机前首先必须熟悉本机的结构性能、工作原理、调整方法、操作方法及保养知识。
②检查设备的状态标志及卫生清洁状况。
③检查电器系统是否完好，电动机是有无受潮漏电。
3、固化炉操作过程
①首先将台车及炉内部清洗干净。
②打开供电设备电源开关、打开设备“电源开关”按钮(钥匙旋钮右拧)
③打开炉门，将模具及物料放上台车推入烘炉内，关闭炉门。
④设定烘炉温度，并打开烘炉“风机”及“升温”按钮。
⑤达到固化时间打开炉门，将台车推出炉门，取出固化后的物料。
⑥当工作结束时，分别关闭“升温”和“风机”按钮，使加热系统、鼓风系统停止工作。
⑦最后关闭“电源开关”旋钮，合上总闸，打开炉门，取出已烘干的物料，工作程序结束。
4、固化炉操作注意事项
①烘炉安装场地应平整、光滑。
②电器控制人员有专业的管理和维修;当炉箱不用时，应切断电源，确保安全。
③切勿将易燃易爆物品放入烘炉内，以免发生安全事故。
以上为您介绍的是固化炉的工作原理和操作流程，希望以上知识对您有所帮助！
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